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原理信息：PSD 基于非均勻半導體的橫向光電效應工作，由形成在高電阻率半導體襯底表面的均勻電阻層和用于提取位置信號的電極組成，有源區(qū)的 p-n 結通過光電效應產生光電流。通過計算光電流，可得出激光點的能量中心在感光面的位置信息，進而獲取被測對象的直線度、平面度等數據。例如，測量直線度時，可實時測量各個測量位置的高低和左右位移量，而非角度值。

功能信息：

高精度幾何量測量：可高精度非接觸測量工件或導軌的直線度和平面度，廣泛應用于通用機床、半導體加工設備、新能源加工設備等工業(yè)領域，確保產品質量。

一鍵調光：革新了傳統(tǒng)儀器繁瑣耗時的調光過程。用戶只需在測量起始點執(zhí)行一次清零操作，并在終點處簡單調整發(fā)射器至預定指示值，即可在不超過 2 分鐘內完成調光，極大提高測量效率，降低操作難度，且測量導軌越長，效率提升效果越明顯。

多方向同時測量：可同時測量高低和左右兩個方向的直線度，還能實現不等間距測量，無需借助橋板，也可對斷續(xù)導軌的直線度進行測量。

測量范圍廣且誤差?。褐本€度、平行度、平面度、垂直度測量范圍均為 ±5mm，直線度測量誤差為 ±（0.5% h+1μm），平行度和垂直度測量誤差為 ±（4+2/m+0.005h/m）μm/m，平面度測量誤差≤±（1+1.1m+0.005h）μm（其中 h 為儀器的最大顯示值，單位為 μm；m 為基準面、基準軸長度或平面內最長測量線的長度，單位為 m）。

環(huán)境適應性強：溫度、濕度、氣壓對設備影響很小，雖空氣擾動有一定影響，但整體而言，能在多種工業(yè)環(huán)境中較為穩(wěn)定地工作。